[实用新型]一种石英加热装置

说明书

技术领域

本实用新型属于电子器件加热设备领域，尤其是涉及一种石英加热装置。

背景技术

在半导体行业及太阳能等微电子行业中，需要对硅片进行清洗，为了使硅片 清洁度达到行业标准，清洗过程需使用高温度的酸，半导体材料的酸洗通常 在石英加热槽中进行。目前的石英加热槽外部的加热设备通常含有金属，在 酸洗环境下，酸溶液容易腐蚀金属，长期下来金属氧化变质，金属碎屑往往 会进入石英加热槽中，吸附在硅片表面并难以清洗，影响了硅片的质量，现 有设备还存在加热不均匀、保温效果不好、热量利用率低、加热清洗效果不 理想等问题。

发明内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种石英加热装置，以提高硅片的洁净 度，使石英内胆的温度均匀，热量利用率高。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种石英加热装置，包括石英内胆、远红外辐射体、氧化铝陶瓷涂层、 气凝胶毡层，其中所述石英内胆内设有测温线，所述测温线的外部设有绝缘 管，所述测温线的一端由绝缘管封闭，另一端与温度仪表相连接，所述远红 外辐射体设于石英内胆的外部，所述氧化铝陶瓷涂层设于远红外辐射体与气 凝胶毡层之间。

进一步的，所述石英内胆与远红外辐射体之间设有金属网。

进一步的，所述氧化铝陶瓷涂层的厚度为3mm～6mm。

进一步的，所述绝缘管的顶部通过密封胶连接橡胶帽。

相对于现有技术，本实用新型所述的一种石英加热装置具有以下优势：

(1)本发明所述的一种石英加热装置，加热方式环保、无污染，温度 可控，安全系数高，提高了硅片的洁净度，硅片的成品率大大提高；

(2)本发明所述的一种石英加热装置，金属网与氧化铝陶瓷涂层加快 了远红外的热传递，石英内胆的温度均匀，提高了换热效率。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解， 本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实 用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例所述的一种石英加热装置的结构示意图；

附图标记说明：

1-石英内胆；2-金属网；3-远红外辐射体；4-氧化铝陶瓷涂层；5-气凝 胶毡层；6-绝缘管；7-测温线；8-温度仪表；9-橡胶帽。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中 的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横 向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水 平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附 图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不 是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和 操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二” 等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指 示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示 或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有 说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定， 术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接， 也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接； 可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连 通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本 实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

实施例1

一种石英加热装置，其特征在于：包括石英内胆1、远红外辐射体3、 氧化铝陶瓷涂层4、气凝胶毡层5，其中所述石英内胆1内设有测温线7，所 述测温线7的外部设有绝缘管6，所述测温线7的一端由绝缘管6封闭，另 一端与温度仪表8相连接，所述远红外辐射体3设于石英内胆1的外部，所 述氧化铝陶瓷涂层4设于远红外辐射体3与气凝胶毡层5之间，所述石英内 胆1与远红外辐射体3之间设有金属网2，所述氧化铝陶瓷涂层4的厚度为 3mm，所述绝缘管6的顶部通过密封胶连接橡胶帽9。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型， 凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等， 均应包含在本实用新型的保护范围之内。