[发明专利]半导体装置及其制造方法

说明书

[课题]提供一种能够谋求小型化，配线电阻很小并且效率很高的半导体装置。[解决方法]实施方式中的半导体装置1包括：绝缘基板2；导电部3，朝第一方向延伸；导电部4，从导电部3开始远离第二方向，并且朝第一方向延伸；多个导电部5，在导电部3和导电部4之间沿第一方向并排；高边开关11,12,13，被安装在导电部3上；低边开关14,15,16，分别被安装在相对应的导电部5上；多个信号端子，沿着第一方向被排列为与多个导电部5之间存在导电部3；电源端子21，与导电部3电气连接；接地端子22，与导电部4电气连接；输出端子23,24,25，分别与相对应的导电部5电连接，在绝缘基板2的另一端侧沿第一方向被排列，通过导电部4并且跨过沿第一方向延伸的直线L。

技术领域

本发明涉及一种半导体装置及其制造方法。

背景技术

以往，已知一种逆变器(inverter)装置作为半导体装置，将从直流电源输入的直流电力转换为交流电力并输出。逆变器装置例如是用来将直流电压转换为三相交流电压并且驱动三相电机(motor)。对于这样的半导体装置，近年来，越发在寻求小型化以及高效率化。

在专利文献一中记载有将电感(inductance)降低和装置的小型化作为目的的逆变器装置。在该逆变器装置中，电源端子(逆变器输入端子)或接地端子(逆变器接地端子)都没有被捆成一个，被排列在一个方向上(参照专利文献一的图20)。

在专利文献二中记载有将减少损失或者噪声作为目的的逆变器装置。在该逆变器装置中，与电源端子电气连接的电源模块(Block)和被接地(Ground)的接地模块被邻接配置(参照专利文献二的图15)。

先行技术文献

专利文献

专利文献一日本特开2011-250491号公报

专利文献二日本特开2014-72316号公报

发明内容

然而，在专利文献一的逆变器装置中，由于电源端子或接地端子没有被捆成一个，因此宽度变大，导致难以实行小型化。另外，在专利文献二的逆变器装置中，由于电源模块和被接地的接地模块被邻接配置，因此电流路径变长从而配线电阻变大，导致存在效率低下的问题。

因此，本发明的目的是提供一种能够谋求小型化，配线电阻很小并且效率很高的半导体装置。

本发明涉及的半导体装置

是一种将直流电力转换为交流电力的半导体装置，

其特征在于，包括：绝缘基板；

第一导电部，被设置在所述绝缘基板上朝第一方向延伸；

第二导电部，被设置在所述绝缘基板上，从所述第一导电部开始远离与所述第一方向不同的第二方向，并且朝所述第一方向延伸；

多个第三导电部，被设置在所述绝缘基板上，在所述第一导电部和所述第二导电部之间沿所述第一方向并排；

多个第一开关，具有第一主电极，第二主电极以及控制电极，沿所述第一方向被安装在所述第一导电部上，并且所述第一主电极与所述第一导电部电气连接；

多个第二开关，具有第四主电极以及控制电极，分别被安装在相对应的所述第三导电部上，所述第三主电极与所述第一开关的所述第二主电极电气连接，所述第四主电极与所述第二导电部电气连接；

多个信号端子，沿着所述第一方向被排列为与所述多个第三导电部之间存在所述第一导电部；

电源端子，与所述第一导电部电气连接，被配置在设有所述多个信号端子的所述绝缘基板的一端侧；

接地端子，与所述第二导电部电气连接，被配置在所述绝缘基板的所述一端侧；