[发明专利]带通声学滤波器及声学感测装置有效
申请号: | 201580001223.2 | 申请日: | 2015-10-30 |
公开(公告)号: | CN105493522B | 公开(公告)日: | 2018-09-11 |
发明(设计)人: | 邹泉波 | 申请(专利权)人: | 歌尔股份有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04 |
代理公司: | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人: | 杨国权;黄锦阳 |
地址: | 261031 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 声学 滤波器 装置 | ||
1.一种带通声学滤波器,包括:
至少两个MEMS麦克风芯片,每个MEMS麦克风芯片的谐振频率通过设置MEMS麦克风芯片的振动膜谐振频率、前腔尺寸和声学开口尺寸中的至少一个被调整;以及
ASIC芯片,
其中,所述MEMS麦克风芯片的输出信号经耦合后在ASIC芯片中被处理。
2.根据权利要求1所述的滤波器,其中,所述MEMS麦克风芯片中的每一个被安装在基板的声学孔上。
3.根据权利要求1所述的滤波器,还包括金属壳体,用于形成所述MEMS麦克风芯片的后腔,其中,所述MEMS麦克风芯片通过所述后腔被声学耦合。
4.根据权利要求3所述的滤波器,还包括基板,其中,所述金属壳体和所述基板一起形成密闭的后腔。
5.根据权利要求1所述的滤波器,其中,所述输出信号通过串联方式被耦合。
6.一种声学感测装置,包括根据权利要求1所述的带通声学滤波器,用于感测声波。
7.根据权利要求6所述的声学感测装置,其中,所述声波包括超声波。
8.根据权利要求6所述的声学感测装置,其中,所述声学感测装置是麦克风。
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