[发明专利]压电陶瓷板以及板状基体、和电子部件

说明书

提供烧制所引起的变形小的压电陶瓷板以及板状基体、和电子部件。适合用于主面(1c)的面积360mm²以上、厚度150μm以下的压电陶瓷板(1)中，压电陶瓷板(1)具有一对四边形状的主面(1c)、和对置的一对第1侧面(1d)以及对置的一对第2侧面(1e)，一对第1侧面(1d)是烧完面，并在将第1侧面(1d)的长度方向中央的一对第1侧面(1d)间的长度设为Lc、将第1侧面(1d)的长度方向端的一对第1侧面(1d)间的长度设为Le时，该Le与Lc之差ΔL、和Lc的比率(ΔL/Lc)为1.0％以下。

技术领域

本发明涉及压电陶瓷板以及板状基体、和电子部件。

背景技术

压电陶瓷板用在将经由压电现象而产生的位移或力利用为机械性驱动源的压电致动器等各种电子部件中。压电致动器随着其用途扩大，以更低电压得到更大位移或产生力的层叠压电致动器被较多地使用

以往，由于烧制后的压电陶瓷板的变形(收缩偏差)较大，因此，为了将压电陶瓷板的形状、尺寸控制在给定范围内，在烧制后进行压电陶瓷板的切断、研磨等加工(例如参考专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开平3-54878号公报

发明内容

发明要解决的课题

但在，以往如上述那样，由于为了将压电陶瓷板的形状、尺寸控制在给定范围内，而在烧制后进行切断或进行研磨，因此有工序增加、制造成本也变高的课题。

本发明目的在于，提供能减少烧制后的加工的压电陶瓷板以及板状基体、和电子部件。

用于解决课题的手段

本发明的压电陶瓷板的特征在于，具有一对四边形状的主面、和对置的一对第1侧面以及对置的一对第2侧面，所述一对第1侧面是烧完面，并且在将所述第1侧面的长度方向中央的所述一对第1侧面间的长度设为Lc、将所述第1侧面的长度方向端的所述一对第1侧面间的长度设为Le时，该Le与所述Lc之差ΔL、和所述Lc的比率(ΔL/Lc)为1.0％以下。

本发明的压电陶瓷板的特征在于，具有一对四边形状的主面、和对置的一对第1侧面以及对置的一对第2侧面，所述主面的面积为360mm²以上，并且所述一对第1侧面的烧完面。

本发明的板状基体的特征在于，在压电陶瓷板内具有内部电极。

本发明的电子部件的特征在于，具备：表面电极，其配置于上述板状基体的表面；和通孔导体，其与所述内部电极连接，在所述压电陶瓷板的厚度方向上延伸而被引出到所述板状基体的表面，并且所述压电陶瓷板的所述一对第2侧面是烧完面。

本发明的电子部件的特征在于，具备：上述板状基体；和外部电极，其配置于所述压电陶瓷板的第2侧面，与所述内部电极连接，并且在所述压电陶瓷板的第2侧面具有加工面，在该加工面配置所述外部电极。

发明的效果

根据本发明的压电陶瓷板，能减少烧制后的加工。另外，根据本发明的板状基体、电子部件，能减少制造成本。

附图说明

图1是表示压电陶瓷板的图，(a)是立体图，(b)是从第1侧面到主面的表面的扫描型电子显微镜(SEM)照片。

图2(a)是关于主面为长方形的压电陶瓷板的变形量的说明图，(b)是关于主面为梯形的压电陶瓷板的变形量的说明图。

图3是示意表示电子部件的第1实施方式的图，(a)是概略俯视图，(b)是(a)的A-A线截面图。

图4是手持电子部件的状态的照片。