[发明专利]电子束蒸发源及真空蒸镀装置有效
| 申请号： | 201580003277.2 | 申请日： | 2015-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN105874097B | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 后田以诚;矢岛太郎;矶野坚一 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;H01J37/06 |
| 代理公司： | 北京华夏正合知识产权代理事务所(普通合伙) 11017 | 代理人： | 韩登营;蒋国伟 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子束 蒸发 真空 装置 | ||
【说明书】：
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