[发明专利]化学蒸镀装置及化学蒸镀方法

权利要求书

1.一种化学蒸镀装置，其特征在于，具有：

反应容器，容纳被成膜物；气体供给管，设置于所述反应容器内；旋转驱动装置，在所述反应容器内使气体供给管绕旋转轴旋转；旋转式气体导入部件，与所述旋转驱动装置连结，

所述气体供给管的内部通过沿所述旋转轴延伸的板状的分隔部件划分为沿所述旋转轴延伸的第1气体流通部及第2气体流通部，

所述旋转式气体导入部件的内部通过沿所述旋转轴延伸的分隔部件划分为原料气体组A导入通道及原料气体组B导入通道，

所述气体供给管的分隔部件的下端与所述旋转式气体导入部件的分隔部件的上端连接，

所述气体供给管的管壁中，第1气体喷出口及第2气体喷出口沿所述旋转轴的圆周方向相邻配置，所述第1气体喷出口使在所述第1气体流通部流通的第1气体喷出至所述反应容器内，所述第2气体喷出口使在所述第2气体流通部流通的第2气体喷出至所述反应容器内，

在将所述旋转轴作为法线的平面上，所述第1气体喷出口及所述第2气体喷出口形成一对。

2.根据权利要求1所述的化学蒸镀装置，其中，

沿所述气体供给管的轴向设置有多个由沿所述旋转轴的圆周方向相邻的所述第1气体喷出口与所述第2气体喷出口构成的喷出口对。

3.根据权利要求2所述的化学蒸镀装置，其中，

形成所述喷出口对的所述第1气体喷出口的中心与所述第2气体喷出口的中心的距离比包含所述喷出口对的将所述旋转轴作为法线的第1平面与在所述气体供给管的轴向上邻接且包含其他喷出口对的第2平面的距离短。

4.根据权利要求3所述的化学蒸镀装置，其中，

形成所述喷出口对的所述第1气体喷出口的中心与所述第2气体喷出口的中心的距离为2～30mm。

5.根据权利要求3或4所述的化学蒸镀装置，其中，

将所述旋转轴作为法线的平面上的形成所述喷出口对的所述第1气体喷出口的中心、所述旋转轴的中心、以及所述第2气体喷出口的中心所呈的角度为60°以下。

6.根据权利要求1所述的化学蒸镀装置，其中，

将所述旋转轴作为法线的平面上的所述第1气体喷出口与所述第2气体喷出口绕所述旋转轴的相对角度为150°以上且180°以下。

7.根据权利要求6所述的化学蒸镀装置，其中，

沿所述气体供给管的轴向设置有多个由沿所述旋转轴的圆周方向相邻的所述第1气体喷出口与所述第2气体喷出口构成的喷出口对。

8.根据权利要求7所述的化学蒸镀装置，其中，

沿所述旋转轴的轴向相邻的2组喷出口对中，

属于不同的所述喷出口对中的所述第1气体喷出口彼此间绕所述旋转轴的相对角度、及属于不同的所述喷出口对中的所述第2气体喷出口彼此间绕所述旋转轴的相对角度为130°以上。

9.根据权利要求7或8所述的化学蒸镀装置，其中，

沿所述旋转轴的轴向相邻的2组喷出口对中，

属于不同的所述喷出口对中的所述第1气体喷出口与所述第2气体喷出口绕所述旋转轴的相对角度为60°以下。

10.一种化学蒸镀方法，其使用权利要求1至9中任一项所述的化学蒸镀装置在被成膜物的表面形成皮膜。

11.根据权利要求10所述的化学蒸镀方法，其中，

使所述气体供给管以10圈/分钟以上且60圈/分钟以下的旋转速度旋转。

12.根据权利要求10或11所述的化学蒸镀方法，其中，

使用不含金属元素的原料气体作为所述第1气体，使用含有金属元素的原料气体作为所述第2气体。

13.根据权利要求12所述的化学蒸镀方法，其中，

使用含有氨的气体作为所述第1气体。