[发明专利]用于沉积功能层的等离子涂覆方法和沉积装置有效
| 申请号： | 201580004444.5 | 申请日： | 2015-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN106232865B | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 米夏埃尔·比斯格斯;诺贝特·埃卡特;克里斯蒂安·蒂勒 | 申请（专利权）人： | 等离子创新有限公司;苏拉仪器有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/40 | 分类号： | C23C16/40;C23C16/513;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 李骥;车文 |
| 地址： | 奥地利安特*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 功能 等离子 方法 装置 | ||
【说明书】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
