[发明专利]涂敷膜除去装置在审
| 申请号： | 201580005468.2 | 申请日： | 2015-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN105935005A | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 久保祐治;上林塁;福原智朗;伊藤裕猛 | 申请（专利权）人： | 凸版印刷株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;G03F7/30;H01L51/50 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 高迪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 涂敷膜 除去 装置 | ||
【说明书】：
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