[发明专利]包含聚氨基酸的化学机械抛光(CMP)组合物有效
| 申请号： | 201580005687.0 | 申请日： | 2015-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN105934487B | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | M·劳特尔;R·朗格;B·M·诺勒;M·希伯特 | 申请（专利权）人： | 巴斯夫欧洲公司 |
| 主分类号： | C09G1/18 | 分类号： | C09G1/18;C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 肖威;刘金辉 |
| 地址： | 德国路*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 包含 氨基酸 化学 机械抛光 cmp 组合 | ||
【权利要求书】：
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