[发明专利]用于加热单元的支撑系统有效
申请号: | 201580007028.0 | 申请日: | 2015-01-27 |
公开(公告)号: | CN106165530B | 公开(公告)日: | 2020-03-13 |
发明(设计)人: | 瓦迪姆·博古斯拉夫斯基;阿尔诺·普兰肯施泰纳 | 申请(专利权)人: | 攀时奥地利公司;攀时美国有限责任公司 |
主分类号: | H05B3/66 | 分类号: | H05B3/66;H01L21/67;H01L21/687 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 顾红霞;张芸 |
地址: | 奥地利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 加热 单元 支撑 系统 | ||
【权利要求书】:
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