[发明专利]压力传感器用片、压力传感器及压力传感器用片的制造方法有效
| 申请号： | 201580007199.3 | 申请日： | 2015-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN105960581B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 李诚远;染谷隆夫;关谷毅 | 申请（专利权）人： | 国立研究开发法人科学技术振兴机构 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王永红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压力 传感 器用 压力传感器 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
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