[发明专利]透明光掩模及其制造方法及用其形成导电网格图案的方法有效
| 申请号： | 201580008070.4 | 申请日： | 2015-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN106462087B | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 朴正岵;郑镇美;郑有珍;辛富建 | 申请（专利权）人： | 株式会社LG化学 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;G03F7/20;H01J1/30 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 李静;黄丽娟 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 制造 方法 透明 光掩模 以及 使用 形成 导电 网格 图案 | ||
【说明书】：
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