[发明专利]用于降低装载室腔内的压力的泵吸系统与方法有效
| 申请号： | 201580008126.6 | 申请日： | 2015-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN105980706B | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | N·贝古 | 申请（专利权）人： | 普发真空公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04C25/02;F04B41/06 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 雷明;吴鹏 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 初级泵 泵吸 装载室 罗茨真空泵 泵吸系统 真空泵 单级 基材 卸载 装载 并行布置 串联布置 泵单元 粗抽 腔内 抽出 上游 流动 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于普发真空公司，未经普发真空公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201580008126.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
