[发明专利]浆料用氮化硅粉末及其制造方法、离型材用氮化硅粉末浆料及其制造方法、离型材用氮化硅粉末、离型材、以及多结晶硅铸造用铸模及其制造方法

权利要求书

1.一种浆料用氮化硅粉末，其是用于多结晶硅铸造用铸模的离型层形成用浆料的氮化硅粉末，其特征在于：

比表面积为5～50m²/g，非晶质氮化硅的比例为1.0～25.0质量％，含氧量为0.6～2.5质量％。

2.一种离型材用氮化硅粉末浆料，其是将权利要求1所述的浆料用氮化硅粉末与水进行混合而获得。

3.一种离型材用氮化硅粉末，其是将权利要求1所述的浆料用氮化硅粉末与水进行混合而浆料化、其后使该浆料干燥所获得的氮化硅粉末，且

含氧量为0.7～5.0质量％。

4.一种离型材，其是构成形成于多结晶硅铸造用铸模的离型层，其特征在于：

含有权利要求3所述的离型材用氮化硅粉末。

5.一种多结晶硅铸造用铸模，其中，在铸模的内表面形成有由权利要求4所述的离型材所构成的离型层。

6.一种浆料用氮化硅粉末的制造方法，其是制造权利要求1所述的浆料用氮化硅粉末的方法，其中，

在选自不活性气体及还原性气体中的1种以上的气体环境下，使用旋窑炉或者将1100～1400℃的温度范围中的升温速度调整为10～1000℃/小时的批次炉或推式连续炉，对使含氮的硅烷化合物热分解所获得的比表面积为300～800m²/g的非晶质Si-N(-H)系化合物以1200～1400℃进行热分解。

7.一种离型材用氮化硅粉末浆料的制造方法，其是将权利要求1所述的浆料用氮化硅粉末与水进行混合。

8.一种多结晶硅铸造用铸模的制造方法，其具备以下步骤：

浆料形成步骤，其是将权利要求1所述的浆料用氮化硅粉末与水进行混合而形成浆料；

浆料涂布步骤，其是将该浆料涂布于多结晶硅铸造用铸模表面；及

离型层形成步骤，其是使涂布于该铸模表面的该浆料干燥而形成离型层。