[发明专利]图案描画装置用的GUI装置、图案描画系统、作业单更新方法及记录介质有效
| 申请号： | 201580008338.4 | 申请日： | 2015-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN105992997B | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 古川至;中井一博;北村清志 | 申请（专利权）人： | 株式会社思可林集团 |
| 主分类号： | G06F3/0481 | 分类号： | G06F3/0481;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 宋晓宝;向勇 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 图案 描画 装置 gui 系统 作业 更新 方法 以及 程序 | ||
【说明书】：
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