[发明专利]用于制造半导体器件的方法和半导体器件有效
申请号: | 201580009283.9 | 申请日: | 2015-02-17 |
公开(公告)号: | CN106062976B | 公开(公告)日: | 2018-10-19 |
发明(设计)人: | 诺温·文马尔姆;亚历山大·F·普福伊费尔;坦森·瓦尔盖斯;菲利普·克罗伊特尔 | 申请(专利权)人: | 欧司朗光电半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/38 | 分类号: | H01L33/38;H01L31/0224 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 丁永凡;张春水 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制造 半导体器件 方法 | ||
【权利要求书】:
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