[发明专利]通过脉冲激光沉积来沉积材料的设备以及利用该设备沉积材料的方法有效
| 申请号： | 201580009380.8 | 申请日： | 2015-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN106029942B | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | J·M·德克斯;J·A·扬森斯 | 申请（专利权）人： | 索尔玛特斯有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/50 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 刘倜 |
| 地址： | 荷兰恩*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 通过 脉冲 激光 沉积 材料 设备 以及 利用 方法 | ||
【说明书】：
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