[发明专利]多晶硅膜的形成方法有效
| 申请号： | 201580009505.7 | 申请日： | 2015-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN106062251B | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 申承祐;郑愚德;赵星吉;崔豪珉;吴完锡;李郡禹;权赫龙;朴成真;金基镐;李康旭 | 申请（专利权）人： | 株式会社EUGENE科技 |
| 主分类号： | C23C26/00 | 分类号： | C23C26/00;C23C16/02;C23C16/56 |
| 代理公司： | 北京纽盟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11456 | 代理人： | 许玉顺 |
| 地址： | 韩国京畿道龙*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 形成 方法 | ||
【权利要求书】：
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