[发明专利]含硼掺杂剂组合物、使用其来改善硼离子注入期间离子束电流和性能的系统和方法有效
| 申请号： | 201580010132.5 | 申请日： | 2015-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN106062918B | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | A.K.辛哈;S.M.史密斯;D.C.海德曼;S.M.坎珀 | 申请（专利权）人： | 普莱克斯技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘辛;李炳爱 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掺杂 组合 使用 改善 离子 注入 期间 离子束 电流 性能 系统 方法 | ||
【权利要求书】：
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