[发明专利]具有反转膜透镜的检查装置有效
申请号: | 201580010670.4 | 申请日: | 2015-02-20 |
公开(公告)号: | CN106104315B | 公开(公告)日: | 2019-04-16 |
发明(设计)人: | C·布赫瓦尔德;J-P·赫尔曼;M·M·赫尔曼;W·朔恩 | 申请(专利权)人: | KHS有限责任公司 |
主分类号: | G02B5/02 | 分类号: | G02B5/02;G01N21/88;G01N21/90;F21V8/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 李隆涛 |
地址: | 德国多*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 反转 透镜 检查 装置 | ||
【权利要求书】:
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