[发明专利]用于极紫外光源的自适应激光器系统有效
| 申请号： | 201580011220.7 | 申请日： | 2015-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN106465525B | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 陶业争;D·J·W·布朗;A·A·沙夫甘斯;M·D·考迪尔;D·J·格里斯;R·L·桑德斯特罗姆;Y·亚马达 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 紫外 光源 自适应 激光器 系统 | ||
【权利要求书】：
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