[发明专利]用于多带电粒子束平板印刷术的像素融合有效
| 申请号： | 201580011781.7 | 申请日： | 2015-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN106062752B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 建峰·陈;托马斯·拉伊迪 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G06F30/39 | 分类号： | G06F30/39;G03F7/20;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 带电 粒子束 平板 印刷术 像素 融合 | ||
【权利要求书】：
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