[发明专利]基板处理系统及基板处理方法有效
| 申请号： | 201580012332.4 | 申请日： | 2015-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN106102996B | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 山口都章 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/00;B24B49/02;B24B49/08;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 搜索关键词： | 处理 系统 方法 | ||
【权利要求书】：
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