[发明专利]回收废光刻胶剥离剂的方法有效
| 申请号： | 201580012366.3 | 申请日： | 2015-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN106062638B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 朴泰文;郑大哲;李东勋;李佑然;李贤浚;金周永 | 申请（专利权）人： | 株式会社LG化学 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾晋伟;苏虹 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 回收 光刻 剥离 方法 | ||
【权利要求书】：
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