[发明专利]用于实时监测穿过质量流量控制器的流量的系统以及方法有效
| 申请号： | 201580013227.2 | 申请日： | 2015-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN106233061B | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 丁军华 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | F17D3/01 | 分类号： | F17D3/01;F17D1/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;王英 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 实时 监测 穿过 质量 流量 控制器 系统 以及 方法 | ||
【说明书】：
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