[发明专利]图案位置误差感知优化有效
| 申请号： | 201580014364.8 | 申请日： | 2015-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN106104384B | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | D-F·S·徐;贾建军;刘晓峰;张翠平 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/36 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 图案 位置 误差 感知 优化 | ||
【说明书】：
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