[发明专利]成膜装置及成膜方法在审
| 申请号： | 201580015142.8 | 申请日： | 2015-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN106133188A | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 中尾裕利;佐藤诚一;柴智志;坂内雄也;木村孔 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人： | 齐永红 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【说明书】：
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