[发明专利]掺杂Mn的PZT系压电膜形成用组合物及掺杂Mn的PZT系压电膜有效
| 申请号： | 201580015871.3 | 申请日： | 2015-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN106104826B | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 土井利浩;樱井英章;曽山信幸 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/318 | 分类号： | H01L41/318;C04B35/491;H01B3/12;H01L41/187 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掺杂 mn pzt 压电 形成 组合 | ||
【权利要求书】：
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