[发明专利]工作台装置、输送装置、半导体制造装置以及检查装置有效
| 申请号： | 201580016294.X | 申请日： | 2015-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN106457493B | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 佐藤俊德 | 申请（专利权）人： | 日本精工株式会社 |
| 主分类号： | B23Q1/38 | 分类号： | B23Q1/38;B23Q1/44;B23Q1/56;B23Q1/62;H01L21/027;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 王筠翔 |
| 地址： | 日本国东*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工作台 装置 输送 半导体 制造 以及 检查 | ||
【说明书】：
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