[发明专利]具有改进的功率均匀性的微波等离子体施加器有效
| 申请号： | 201580016675.8 | 申请日： | 2015-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN106465530B | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 陈星;冀成相;艾琳·马登;伊利雅·波可多夫;凯文·W·文策尔 | 申请（专利权）人： | MKS仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 改进 功率 均匀 微波 等离子体 施加 | ||
【说明书】：
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