[发明专利]缺陷检测装置以及缺陷检测方法有效
| 申请号： | 201580017050.3 | 申请日： | 2015-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN106461567B | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 海老田孝夫;新家英正 | 申请（专利权）人： | 世联股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;D05B51/00;G01N21/84 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐冰冰;黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 装置 以及 方法 | ||
【说明书】：
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