[发明专利]包覆工具

权利要求书

1.一种包覆工具，其包含基材和形成在所述基材表面上的包覆层，

所述包覆层包含第1层叠结构和第2层叠结构，

所述第1层叠结构和所述第2层叠结构连续交替地层叠2次以上，

所述第1层叠结构包含组成不同的至少2种层，所述2种层交替地层叠2次以上，

所述第1层叠结构中所含的层的平均厚度为60nm以上且500nm以下，

所述第2层叠结构包含组成不同的至少2种层，所述2种层交替地层叠2次以上，

所述第2层叠结构中所含的层的平均厚度为2nm以上且小于60nm，

所述第1层叠结构及所述第2层叠结构中所含的层包含含有选自Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、Si、Sr、Y、Sn及Bi中的至少1种金属元素和选自碳、氮、氧及硼中的至少1种非金属元素的化合物，

所述第1层叠结构和/或所述第2层叠结构的平均厚度从所述基材侧向着所述包覆层的表面侧连续地或阶段地增加；

其中，当将距所述基材最近的所述第1层叠结构的平均厚度记为TA1、将距所述包覆层的表面最近的所述第1层叠结构的平均厚度记为TB1时，TA1与TB1的比例为5％以上且50％以下。

2.根据权利要求1所述的包覆工具，其中，所述第1层叠结构的平均厚度为0.2μm以上且6μm以下。

3.根据权利要求1或2所述的包覆工具，其中，所述第2层叠结构的平均厚度为0.02μm以上且6μm以下。

4.根据权利要求1或2所述的包覆工具，其中，所述包覆层整体的平均厚度为0.22μm以上且12μm以下。

5.根据权利要求1或2所述的包覆工具，其中，当将距所述基材最近的所述第2层叠结构的平均厚度记为TA2、将距所述包覆层的表面最近的所述第2层叠结构的平均厚度记为TB2时，TA2与TB2的比例为5％以上且50％以下。

6.根据权利要求1或2所述的包覆工具，其中，当将距所述基材最近的所述第1层叠结构中所含的层的平均厚度记为TC1、将距所述包覆层的表面最近的所述第1层叠结构中所含的层的平均厚度记为TD1时，TC1与TD1的比例为12％以上且70％以下。

7.根据权利要求1或2所述的包覆工具，其中，当将距所述基材最近的所述第2层叠结构中所含的层的平均厚度记为TC2、将距所述包覆层的表面最近的所述第2层叠结构中所含的层的平均厚度记为TD2时，TC2与TD2的比例为5％以上且70％以下。

8.根据权利要求1或2所述的包覆工具，其中，所述第1层叠结构中所含的层及所述第2层叠结构中所含的层包含含有选自Ti、Nb、Ta、Cr、W、Al、Si、Sr及Y中的至少2种金属元素和选自碳、氮、氧及硼中的至少1种非金属元素的化合物。