[发明专利]研磨垫及其制造方法有效
| 申请号： | 201580017776.7 | 申请日： | 2015-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN106163741B | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 丝山光纪;高桥大介 | 申请（专利权）人： | 富士纺控股株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;B24B37/26;C08G18/00;C08G18/10;H01L21/304;C08G101/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;陈彦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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