[发明专利]减少RF MEMS致动器元件中表面介电充电的系统、装置和方法有效
| 申请号： | 201580017830.8 | 申请日： | 2015-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN106463311B | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 戴维·莫利内罗-希莱斯;肖恩·J·坎宁安;达娜·德雷乌斯 | 申请（专利权）人： | 维斯普瑞公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;邓玉婷 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 减少 rfmems 致动器 元件 表面 充电 系统 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
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