[发明专利]检测元件、锁定检测装置、基板及检测元件的制造方法有效
| 申请号： | 201580018291.X | 申请日： | 2015-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN106134182B | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 猿渡修;青木滋;冈本和也;菅谷功;冈田政志;大木裕史 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | H04N5/369 | 分类号： | H04N5/369;H01L27/146;H01L31/10;H04N5/357;H01L25/065;H01L25/07;H01L25/18 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检测 元件 锁定 装置 制造 方法 | ||
【说明书】：
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