[发明专利]估计图案形成装置的变形和/或其位置的改变在审
| 申请号： | 201580019619.X | 申请日： | 2015-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN106164778A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 拜尔拉克·摩艾斯特;P·A·戴尔马斯特罗;约翰内斯·昂伍李;A·M·范德维伦;C·C·沃德 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴敬莲 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 估计 图案 形成 装置 变形 位置 改变 | ||
【说明书】：
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