[发明专利]圆筒形陶瓷溅射靶及其制造装置与制造方法有效
| 申请号： | 201580020152.0 | 申请日： | 2015-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN106232860B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 池东求;秋庭里美;武内朋哉 | 申请（专利权）人： | 三井金属矿业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C04B37/02 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 圆筒 陶瓷 溅射 及其 制造 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
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