[发明专利]曝光装置用反射镜单元及曝光装置有效
| 申请号： | 201580020327.8 | 申请日： | 2015-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN106687866B | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 林慎一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社V技术 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京奉思知识产权代理有限公司 11464 | 代理人： | 吴立;邹轶鲛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 反射 单元 | ||
【说明书】：
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