[发明专利]用于均匀溅镀的溅镀系统有效
| 申请号： | 201580020425.1 | 申请日： | 2015-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN106463327B | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 伊万·万·德·普特;耐克·德维尔德;盖伊·戈宾;威尔姆·德·伯斯彻 | 申请（专利权）人： | 索雷拉斯高级涂料公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;H01J37/32;C23C14/54;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;吴启超 |
| 地址： | 比利*** | 国省代码： | 比利时;BE |
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| 搜索关键词： | 用于 均匀 系统 | ||
【说明书】：
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