[发明专利]包含微机电系统声敏感测器和环境感测器的集成封装件及其制造方法有效
| 申请号： | 201580024337.9 | 申请日： | 2015-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN106458575B | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | J·M-L·特赛;B·恰达塞尔;M·利姆;A·S·亨金 | 申请（专利权）人： | 因文森斯公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/02;G01L23/08 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 环境感测器 测器 敏感 集成封装 暴露 湿度感测器 微机电系统 麦克风 声波 测量声波 封装件 感测器 测量 制造 | ||
【权利要求书】：
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