[发明专利]压电性氧化物单晶基板有效
| 申请号： | 201580024395.1 | 申请日： | 2015-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN106464228B | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 丹野雅行;阿部淳;桑原由则 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H01L41/187;H03H9/25 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 权鲜枝;侯剑英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 氧化物 单晶基板 | ||
【权利要求书】：
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