[发明专利]用于将气体注入外延腔室的设备

权利要求书

1.一种注入衬垫设备，包括：

第一表面，所述第一表面具有于所述第一表面中形成的第一多个出口，所述第一多个出口用于注入衬垫中形成的第一多个通道，其中所述第一多个通道中的一或多个往相对于第一轴的所述第一多个出口向上成角度；及

第二表面，所述第二表面具有于所述第二表面中形成的第二多个出口，所述第二多个出口用于所述注入衬垫中形成的第二多个通道，其中所述第二多个出口与所述第一多个出口共面。

2.如权利要求1所述的设备，其中所述第一表面位于第一半径以及所述第二表面位于来自第二轴的第二半径，并且其中所述第一半径小于所述第二半径。

3.如权利要求1所述的设备，其中所述第一多个出口中的一或多个向上成角度在1°至45°之间。

4.如权利要求1所述的设备，其中所述第一多个出口的密度在所述第一表面的中心区域处大于在所述第一表面的边缘区域处。

5.如权利要求1所述的设备，其中所述第一多个出口与第一气体源以流体耦接而与所述第二多个出口分开，所述第二多个出口与第二气体源以流体耦接。

6.一种注入衬垫设备，包括：

第一表面，所述第一表面具有于所述第一表面中形成的第一多个出口，所述第一多个出口用于注入衬垫中形成的第一多个通道，其中所述第一多个通道中的一或多个往相对于第一轴的所述第一多个出口向上成角度；

第二表面，所述第二表面具有于所述第二表面中形成的第二多个出口，所述第二多个出口用于所述注入衬垫中形成的第二多个通道，其中所述第二多个出口设置于所述第一多个出口之下；及

第三表面，所述第三表面具有于所述第三表面中形成的所述第一多个出口，所述第一多个出口用于所述注入衬垫中形成的所述第一多个通道，所述第三表面与所述第一表面共面，及其中邻近于所述第三表面形成的所述第一多个通道中的一或多个往相对于所述第一轴的所述第一多个出口向上成角度。

7.如权利要求6所述的设备，其中所述第一表面位于来自第二轴的第一半径，所述第二表面位于不同于所述第一半径的来自所述第二轴的第二半径，所述第三表面位于不同于所述第一半径和所述第二半径的来自所述第二轴的第三半径。

8.如权利要求7所述的设备，其中所述第一半径小于所述第二半径及所述第三半径小于所述第一半径。

9.如权利要求6所述的设备，其中所述第一多个通道中的一或多个向上成角度在1°至45°之间。

10.如权利要求6所述的设备，其中所述第一多个出口的密度在所述第三表面的中心区域处大于在所述第三表面的边缘区域处。

11.如权利要求6所述的设备，其中所述第一多个出口与第一气体源以流体耦接而与所述第二多个出口分开，所述第二多个出口与第二气体源以流体耦接。

12.一种注入衬垫设备，包括：

第一表面，所述第一表面具有于所述第一表面中形成的第一多个出口，所述第一多个出口用于注入衬垫中形成的第一多个通道，其中所述第一多个通道中的一或多个往相对于一轴的所述第一多个出口向上成角度；及

第二表面，所述第二表面具有于所述第二表面中形成的第二多个出口，所述第二多个出口用于所述注入衬垫中形成的第二多个通道，其中所述第二多个出口设置于所述第一多个出口之下。

13.如权利要求12所述的设备，其中所述第一多个通道中的一或多个向上成角度在1°至45°之间。

14.如权利要求12所述的设备，其中所述第一多个出口的密度在所述第一表面的中心区域处大于在所述第一表面的边缘区域处。

15.如权利要求12所述的设备，其中所第一多个出口经由所述第一多个通道与第一气体源以流体耦接而与所述第二多个出口分开，所述第二多个出口经由所述第二多个通道与第二气体源以流体耦接。