[发明专利]装置、特别是光学装置的晶片级制造有效
| 申请号： | 201580025271.5 | 申请日： | 2015-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN106573460B | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | A·比特施;M·巴尔热 | 申请（专利权）人： | 新加坡恒立私人有限公司 |
| 主分类号： | B32B41/00 | 分类号： | B32B41/00;H01L23/28 |
| 代理公司： | 11280 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭广迅;李渤<国际申请>=PCT/SG2 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 特别是 光学 晶片 制造 | ||
【权利要求书】：
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