[发明专利]混合研磨剂型的钨化学机械抛光组合物有效
| 申请号： | 201580027200.9 | 申请日： | 2015-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN106414650B | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | S.格拉姆宾;J.戴萨德 | 申请（专利权）人： | 嘉柏微电子材料股份公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉;邢岳 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 混合 研磨 剂型 化学 机械抛光 组合 | ||
【权利要求书】：
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