[发明专利]移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、组件制造方法及移动体驱动方法有效
| 申请号： | 201580027999.1 | 申请日： | 2015-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN106415397B | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 白户章仁 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01B11/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李鹏宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 移动 装置 曝光 平板 显示器 制造 方法 组件 驱动 | ||
【说明书】：
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