[发明专利]保护显示器元件阵列中的薄膜晶体管免受可见光及紫外光的影响在审
申请号: | 201580028188.3 | 申请日: | 2015-05-08 |
公开(公告)号: | CN106662681A | 公开(公告)日: | 2017-05-10 |
发明(设计)人: | 金天弘;从明·高;马建;周丽霞;塔利斯·扬·张;陈淑治;约翰·贤哲·洪 | 申请(专利权)人: | 追踪有限公司 |
主分类号: | G02B5/00 | 分类号: | G02B5/00;G02B5/20;G02B26/00;H01L27/12 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人: | 章蕾 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 保护 显示器 元件 阵列 中的 薄膜晶体管 免受 可见光 紫外光 影响 | ||
相关申请案的交叉引用
本发明主张2014年5月30日所申请的且标题为“保护显示器元件阵列中的薄膜晶体管免受可见光及紫外光的影响(PROTECTION OF THIN FILM TRANSISTORS IN A DISPLAY ELEMENT ARRAY FROM VISIBLE AND ULTRAVIOLET LIGHT)”的美国临时专利申请案第62/005,587号(代理人案号:QUALP260PUS/144439P1)及2014年9月29日所申请的且标题为“使显示器元件阵列中的薄膜晶体管免于可见光及紫外光的保护(PROTECTION OF THIN FILM TRANSISTORS IN A DISPLAY ELEMENT ARRAY FROM VISIBLE AND ULTRAVIOLET LIGHT)”的美国专利申请案第14/500,690号(代理人案号:QUALP260US/144439)的优先权。这些先前申请案的揭示内容被视为本发明的一部分且以引用的方式并入本文中。
技术领域
本发明涉及机电系统及装置。更具体来说,本发明涉及一种干涉式调制器(IMOD)显示器元件阵列,其包含用于保护与所述显示器元件阵列相关联的薄膜晶体管(TFT)阵列免于由紫外光及可见光导致的损害的技术。
背景技术
机电系统(EMS)包含具有电及机械元件、致动器、换能器、传感器、光学组件(例如,反射镜及光学薄膜)及电子装置的装置。EMS装置或元件可以多种尺度来制造,包含(但不限于)微尺度及纳米尺度。举例来说,微机电系统(MEMS)装置可包含具有范围为约一微米到数百微米或更大的大小的结构。纳米机电系统(NEMS)装置可包含具有小于一微米的大小(包含(例如)小于数百纳米的大小)的结构。可使用沉积、蚀刻、光刻及/或蚀刻掉衬底及/或所沉积材料层的部分或添加层以形成电及机电装置的其它微机械加工工艺来产生机电元件。
一种类型的EMS装置被称为干涉式调制器(IMOD)。术语IMOD或干涉式光调制器是指使用光学干涉原理选择性地吸收及/或反射光的装置。在一些实施方案中,IMOD显示器元件可包含一对导电板,其中的一者或两者可整体或部分为透明及/或反射性的,且能够在施加适当电信号后即进行相对运动。举例来说,一个板可包含沉积于衬底上方、沉积于衬底上或由衬底支撑的固定层,且另一板可包含与所述固定层隔开气隙的反射膜。一个板相对于另一板的位置可改变入射于IMOD显示器元件上的光的光学干涉。基于IMOD的显示装置具有广泛范围的应用,且预期用于改进现有产品及产生新产品,尤其具有显示能力的那些产品。
发明内容
本发明的系统、方法及装置各自具有若干新颖方面,其中无单一者仅仅负责本文中所揭示的所要属性。
本发明中所描述的标的物的新颖方面涉及用于保护光敏电路(特定来说,与IMOD显示器相关联的薄膜晶体管)免于可原本由暴露于紫外光及可见光所造成的损害的技术。
根据一些实施方案,显示器组合件包含安置于第一衬底与第二衬底之间的显示器元件阵列、安置于第一衬底与第二衬底之间的一或多个薄膜晶体管(TFT)及黑色掩模布置。黑色掩模布置安置于第一衬底与第二衬底之间,且经配置以防止进入显示器组合件的光到达TFT。
在一些实例中,第一衬底可为显示器组合件的透明正面层且第二衬底可为显示器组合件的背板。TFT的至少第一部分可安置于透明正面层的内表面上,在显示器元件阵列的周界的外部。显示器组合件可包含安置于TFT与背板之间的紫外(UV)吸收钝化层。
在一些实例中,黑色掩模布置可包含多个黑色掩模(BM)堆叠。至少第一BM堆叠可经配置以保护TFT免受穿过第一衬底进入显示器组合件的光的影响。黑色掩模布置可包含光阻挡层,其经配置以保护TFT免受穿过第二衬底进入显示器组合件的光的影响。光阻挡层可包含金属层。显示器组合件可包含在至少一个BM堆叠与TFT的至少一部分之间的绝缘层。
在一些实例中,显示器元件的阵列可包含干涉式调制器(IMOD)显示器元件的阵列。在一些实例中,黑色掩模布置可经配置以防止进入显示器组合件的光到达TFT,无关于光是穿过显示器组合件的第一衬底还是穿过第二衬底进入显示器组合件。
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