[发明专利]自动装卸装置有效
申请号: | 201580028464.6 | 申请日: | 2015-05-13 |
公开(公告)号: | CN106660191B | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 安田太一;榎本辰男 | 申请(专利权)人: | 信越半导体株式会社 |
主分类号: | B24B41/06 | 分类号: | B24B41/06;B24B37/28;H01L21/304 |
代理公司: | 北京京万通知识产权代理有限公司 11440 | 代理人: | 许天易 |
地址: | 日本东京都千*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 吸头 自动装卸装置 可动部 工件支承孔 支承工件 定位销 支承 位置及方向 垂直向下 方向延伸 固定载体 太阳齿轮 吸头本体 可移动 支承孔 工作台 齿轮 移动 搬入 侧推 装载 手臂 吸引 外围 配合 | ||
1.一种自动装卸装置,于具有工件支承用的载体且借由太阳齿轮与内齿轮啮合而进行行星齿轮运动的两面加工装置中,将工件搬入至该载体的工件支承孔,或自该载体的工件支承孔而搬出工件,该自动装卸装置包括:
吸头,吸引并支承该工件;
手臂,连接于该吸头,并使该吸头移动;以及
工作台,装载被搬送至该载体的工件支承孔的工件,
其中该吸头具有可动部,相对于该吸头本体而在水平面内可移动,
该可动部吸引支承该工件,并且具有垂直向下方向延伸的多个定位销,
其中该多个定位销在以该可动部所支承的工件装载至该载体的工件支承孔时,密合于该载体外围的齿轮的齿底,借由该可动部在水平面内移动,将该载体向该太阳齿轮侧推压并固定该载体的位置及方向,而将支承的工件搬入至该载体的支承孔内。
2.如权利要求1所述的自动装卸装置,其中该工作台包括机构,该机构于该多个定位销固定该载体的位置及方向时,得以该工件装载于支承于该可动部的该工件的中心与该载体的工件支承孔的中心一致的位置。
3.如权利要求2所述的自动装卸装置,其中该工作台具有多个定位孔,于该可动部吸引支承装载于该工作台的工件时,该多个定位销插入该多个定位孔,
该多个定位孔的位置经调整而使:被该多个定位销插入时,该可动部与装载于该工作台上的工件的相对位置,而在该多个定位销固定该载体的位置及方向时,于支承于该可动部的该工件的中心与该工件支承孔的中心一致的位置,该可动部得以支承该工件。
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