[发明专利]对氧化物的选择性优于对多晶硅和氮化物选择性的具高移除速率及低缺陷率的CMP组合物有效
| 申请号： | 201580028684.9 | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN106414651B | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 李常怡;K.多克里;贾仁合;J.戴萨德 | 申请（专利权）人： | 嘉柏微电子材料股份公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邢岳 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化物 选择性 优于 多晶 氮化物 具高移 速率 缺陷 cmp 组合 | ||
【权利要求书】：
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