[发明专利]新型钌化合物、其制备方法、包含其的膜沉积用前体组合物及利用前体组合物的膜沉积方法有效
| 申请号： | 201580028799.8 | 申请日： | 2015-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN106459113B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 韩元锡;金沼怜;高元勇 | 申请（专利权）人： | UP化学株式会社 |
| 主分类号： | C07F15/00 | 分类号： | C07F15/00;C23C16/06;C23C16/44;C23C16/18 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 石宝忠 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 前体组合物 钌化合物 含钌膜 膜沉积 沉积 制备 | ||
【权利要求书】：
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