[发明专利]一种磨片装置

说明书

一种磨片装置，包括：支撑座(10)、用于夹持切片样品(1)的夹持装置(20)及用于研磨切片样品的研磨装置(2)，其中，夹持装置及研磨装置分别设置在支撑座上，且夹持装置夹持的切片样品朝向研磨装置的研磨盘；还包括驱动装置(40)，驱动装置驱动夹持装置及研磨装置中的至少一个装置朝向另一个装置移动，使研磨盘研磨切片样品。该磨片装置通过采用支撑座来支撑夹持装置及研磨装置，在使用时，夹持装置及研磨装置可以实现相对运动，从而保证了在切片样品进行研磨时，能够研磨出平整的面，提高了切片样品的研磨效果，同时也提高了研磨效率。

技术领域

本发明实施例涉及到电子产品失效分析的技术领域，尤其涉及到一种磨片装置。

背景技术

随之电子通讯产业的快速发展，电子产品的失效分析越来越重要，其中一个重要手段就是切片分析。如图1所示，图1示出了现有技术中的切片在磨片时的示意图，现有切片分析磨片是通过手工抓取切片样品1，然后在研磨装置 2上打磨。具体的，首先是制作切片样品1，将电子板放在模具内，在模具内灌入液态胶，当液态胶凝固后，与电子板粘连在一起，形成一个切片样品1，凝固后的胶可以方便工人把持。如图2a～图2c，图2a～图2c示出了工人在手持磨片时的步骤，在工人对切片样品1进行磨片时，由于手工按压切片样品1存在受力不均，角度倾斜等状况，最终导致磨片不平整，甚至是球面。并且纯手工操作，即使经过培训的熟练员工，也可能存在上述操作失误的时候。造成切片磨片后不平整，影响检测的效果。

发明内容

本发明提供了一种磨片装置，用以提高切片在磨片后的平整度，提高磨片的效果。

第一方面，提供了一种磨片装置，该磨片装置包括：支撑座、用于夹持切片样品的夹持装置及用于研磨切片样品的研磨装置，其中，

所述夹持装置及所述研磨装置分别设置在所述支撑座上，且所述夹持装置夹持的切片样品朝向所述研磨装置的研磨盘；还包括驱动装置，所述驱动装置驱动所述夹持装置及所述研磨装置中的至少一个装置朝向另一个装置移动，使所述研磨盘研磨所述切片样品。

结合上述第一方面、在第一种可能的实现方式中，所述驱动装置为丝杠，所述夹持装置通过所述丝杠与所述支撑座螺旋连接。

结合上述第一方面、在第二种可能的实现方式中，所述驱动装置为驱动气缸，所述驱动气缸的缸体固定在所述支撑座，所述驱动气缸的活塞杆与所述夹持装置固定连接。

结合上述第一方面、在第三种可能的实现方式中，所述夹持装置包括基座，以及与所述基座固定连接的多个卡装所述切片样品的卡爪。

结合上述第一方面、第一方面的第一种可能的实现方式、第一方面的第二种可能的实现方式、第一方面的第三种可能的实现方式，在第四种可能的实现方式中，还包括调整装置，所述研磨装置通过调整装置与所述支撑座连接，且所述调整装置用于调整所述研磨装置的研磨面与水平面的夹角。

结合上述第一方面的第四种可能的实现方式，在第五种可能的实现方式中，所述调整装置包括至少三个调整杆，且每个调整杆包括与所述研磨装置固定连接的第一螺纹杆、与所述支撑装置固定连接的第二螺纹杆，以及与所述第一螺纹杆及第二螺纹杆螺纹连接的螺纹管，其中，所述第一螺纹杆及所述第二螺纹杆上的螺纹的旋向相反。

结合上述第一方面的第四种可能的实现方式，在第六种可能的实现方式中，还包括设置在所述研磨装置上，并用于检测所述研磨装置的研磨面与水平面的夹角的水平仪。

结合上述第一方面、第一方面的第一种可能的实现方式、第一方面的第二种可能的实现方式、第一方面的第三种可能的实现方式，在第七种可能的实现方式中，还包括调整装置，所述夹持装置通过所述调整装置与所述驱动装置连接，且所述调整装置用于调整所述夹持装置夹持的切片与水平面的夹角。